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產品名稱: YQDH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機
產品型號: YQDH-900DZX
產品展商: ghitest
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簡單介紹
品簡介
該鍍膜機可鍍制不銹鋼，鉻，鎢等多種金屬，也可鍍制合金膜或化合物，也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質或裝飾涂層，具有鍍膜速度快，膜層好的優點。
YQDH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機
的詳細介紹
產品簡介
該鍍膜機可鍍制不銹鋼，鉻，鎢等多種金屬，也可鍍制合金膜或化合物，也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質或裝飾涂層，具有鍍膜速度快，膜層好的優點。
1 真空室：鍍膜室尺寸900×900×1000mm3 ；箱式，前開門結構；
2 抽氣系統：機械泵：前泵70L/S；維持泵：2×-8旋片泵；羅茨泵：擴散泵：腔擴泵；分子泵﹝選配﹞
3 限真空：5×10-4Pa; 恢復真空：5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
4 鍍膜系統：平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源；小弧源/柱弧源；
5 輔助鍍膜系統：脈沖偏壓電源。條形離子源﹝選配﹞。
6 膜厚測量系統：石英晶體膜厚監控系統﹝選配﹞。
7 進氣系統：自動壓強控制+多路流量控制系統；
8 操作方式：手動按鍵式；自動控型配置：研華工控機，80G硬盤，512內存+日本三菱PLC；15英寸液晶顯示觸摸屏界面；
9 旋轉夾具：公轉/自轉夾具，速度從0～15r/min *可調；
10 工作烘烤：室溫～300 ℃；
11 供電電源：三相380V，50HZ。