ZH8204數(shù)字式硅晶體載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀/少子壽命測(cè)試儀（鑄造多晶）
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產(chǎn)品名稱(chēng): ZH8204數(shù)字式硅晶體載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀/少子壽命測(cè)試儀（鑄造多晶）
產(chǎn)品型號(hào): ZH8204
產(chǎn)品展商: ghitest
產(chǎn)品文檔: *相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
本設(shè)備是按照標(biāo)準(zhǔn)GB/T1553“硅單晶少數(shù)載流子壽命測(cè)定的高頻光電導(dǎo)衰減法”設(shè)計(jì)制造。高頻光電導(dǎo)衰減法在我國(guó)半導(dǎo)體集成電路、晶體管、整流器件、核探器行業(yè)已運(yùn)用了三十多年，積累了豐富的使用經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)過(guò)數(shù)次十多個(gè)單位巡回測(cè)試的考驗(yàn)，證明是一種成熟的測(cè)試方法，**適合于硅塊、硅棒的少子體壽命測(cè)量；也可對(duì)硅片進(jìn)行測(cè)量，給出相對(duì)壽命值。方法本身對(duì)樣品表面的要求為研磨面，因此制樣**簡(jiǎn)便。
ZH8204數(shù)字式硅晶體載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀/少子壽命測(cè)試儀（鑄造多晶）
的詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
100C型200型的的區(qū)別只是紅外激光管的功率大了一倍，加了個(gè)紅外地光照破除陷進(jìn)效應(yīng)
τ:1～6000μs ρ＞0.1Ω·cm太陽(yáng)能硅片壽命，配已知壽命樣片、配數(shù)字示波器，
本設(shè)備是按照標(biāo)準(zhǔn)GB/T1553“硅單晶少數(shù)載流子壽命測(cè)定的高頻光電導(dǎo)衰減法”設(shè)計(jì)制造。高頻光電導(dǎo)衰減法在我國(guó)半導(dǎo)體集成電路、晶體管、整流器件、核探器行業(yè)已運(yùn)用了三十多年，積累了豐富的使用經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)過(guò)數(shù)次十多個(gè)單位巡回測(cè)試的考驗(yàn)，證明是一種成熟的測(cè)試方法，**適合于硅塊、硅棒的少子體壽命測(cè)量；也可對(duì)硅片進(jìn)行測(cè)量，給出相對(duì)壽命值。方法本身對(duì)樣品表面的要求為研磨面，因此制樣**簡(jiǎn)便。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
可測(cè)量太陽(yáng)能多晶硅塊、單晶硅棒少數(shù)載流子體壽命。表面*需拋光，直接對(duì)切割面或研磨面進(jìn)行測(cè)量，儀器可按需方提供的有標(biāo)稱(chēng)值的校準(zhǔn)樣品調(diào)試壽命值。
可測(cè)量太陽(yáng)能單晶及多晶硅片少數(shù)載流子的相對(duì)壽命，表面*需拋光、鈍化。
液晶屏上直接顯示少子壽命值，同時(shí)在線(xiàn)顯示光電導(dǎo)衰退波形。
配置的紅外光源：0.904～0.905μm波長(zhǎng)紅外脈沖激光器，光穿透硅晶體深度較淺≈30μm，但光強(qiáng)較強(qiáng)，有利于測(cè)量低阻太陽(yáng)能硅晶體少數(shù)載流子體壽命，脈沖功率30W。
為消除陷進(jìn)效應(yīng)增加了紅外低光照。
測(cè)量范圍寬廣
測(cè)試儀可直接測(cè)量：
a、研磨或切割面：電阻率≥0.5Ω?cm的單晶硅棒、定向結(jié)晶多晶硅塊少子體壽命，切割片的少子相對(duì)壽命。
b、拋光面：電阻率在0.5～0.01Ω?cm范圍內(nèi)的硅單晶、鍺單晶拋光片。
范 圍：0.5μs~6000μs
電 阻 率：ρ﹥0.1Ω·cm（非回爐料）
測(cè)試速度：1分鐘/片
紅外光源波長(zhǎng)： 0.904～0.905μm
高頻振蕩源：用石英諧振器，振蕩頻率：30MHZ
前置放大器，放大倍數(shù)約25，頻寬2HZ-2MHZ
可測(cè)單晶尺寸：斷面豎測(cè)：
直徑25mm-150mm；厚度2mm-500mm
縱向臥測(cè)：直徑5mm-20mm；長(zhǎng)度50mm-200mm
測(cè)量方式：采用數(shù)字示波器直接讀數(shù)方式
測(cè)試分辨率：數(shù)字存儲(chǔ)示波器分辨率0.01μs
設(shè)備重量：20 Kg
儀器電源：電源電壓類(lèi)型：?jiǎn)蜗?10～230V,50Hz,帶電源隔離、濾波、穩(wěn)壓，不能與未做保護(hù)措施的大功率、高頻設(shè)備共用電源。